臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)是集成化成像分析系統(tǒng)，使用電鏡能譜一體機(jī)，既可以觀察樣品的形貌，同時(shí)又能進(jìn)行元素的定性和定量分析。除了元素的點(diǎn)分析，元素的線面掃功能可以進(jìn)一步分析元素的分布情況。
電鏡能譜一體機(jī)通過改進(jìn)產(chǎn)品和探頭，增強(qiáng)圖像處理，對光束敏感的材料進(jìn)行成像，分析非導(dǎo)電樣品時(shí)，即使在低真空條件下也能獲得良好的 SEM 圖像，通過二次電子探測器采集樣品的表面信息，是集成化成像分析系統(tǒng)，分辨率提升20%，進(jìn)一步增加應(yīng)用范圍，更加適用于對電子束敏感的樣品。借助該系統(tǒng)，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分。
研究樣品時(shí)，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題，獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的，借助集成、特殊設(shè)計(jì)的能譜探測器，飛納電鏡能譜一體機(jī)可以完善解決上述問題。臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生X射線的分析儀器，能譜儀無論軟件、硬件都是集成設(shè)計(jì)在飛納電鏡能譜一體機(jī)系統(tǒng)中。
電鏡能譜一體機(jī)軟件可以使用戶實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)分析，檢測樣品的元素組分。此外，該軟件還可以擴(kuò)展到元素分析線面掃功能，分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。電鏡能譜一體機(jī)是集成化成像分析系統(tǒng)，分辨率提升20%，進(jìn)一步增加應(yīng)用范圍，更加適用于對電子束敏感的樣品，借助該系統(tǒng)，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分。
研究樣品時(shí)，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題，獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設(shè)計(jì)的能譜探測器，電鏡能譜一體機(jī)可以完善解決上述所有問題。臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生X射線的分析儀器，能譜儀無論軟件、硬件都是*集成設(shè)計(jì)在電鏡能譜一體機(jī)系統(tǒng)中。
