飛納掃描電鏡在質(zhì)檢工作中一直起著非常重要的作用，廣泛應(yīng)用于金屬材料、無(wú)機(jī)非金屬材料以及高分子材料的微觀形貌分析檢測(cè)等工作中。由于傳統(tǒng)的高真空掃描電鏡難干直接觀察檢測(cè)不導(dǎo)電樣品，而對(duì)非導(dǎo)電樣品進(jìn)行噴金成者噴碳處理后雖然可以用傳統(tǒng)的掃描電鏡進(jìn)行檢測(cè)，但是這使得檢測(cè)過(guò)程費(fèi)時(shí)費(fèi)力，而且對(duì)于樣品的微觀形貌會(huì)造成影響和干擾，在用掃描電鏡的能譜儀配件進(jìn)行樣品的成分檢測(cè)時(shí)也會(huì)影響到檢測(cè)結(jié)果，對(duì)于含水樣品及不適合噴金處理的半導(dǎo)體樣品，傳統(tǒng)的掃描電鏡則不適合進(jìn)行檢測(cè)工作。因此，傳統(tǒng)的高真空掃描電鏡在質(zhì)檢工作中有很大的局限性。
飛納掃描電鏡的發(fā)展極大的擴(kuò)展了掃描電鏡在質(zhì)檢中的應(yīng)用，而且極大的節(jié)省了樣品的處理時(shí)間與樣品的檢測(cè)時(shí)間，并且降低了檢測(cè)結(jié)果的各種干擾因素，使得檢測(cè)結(jié)果更準(zhǔn)確。
常規(guī)掃描電鏡的樣品室的真空度要求一般要小于10-3Pa，對(duì)樣品的要求比較高。樣品需要通過(guò)復(fù)雜的處理過(guò)程才能進(jìn)行檢測(cè)，而處理樣品則需要浪費(fèi)很大的人力和物力，并且處理樣品的過(guò)程會(huì)對(duì)樣品的微觀形貌造成影響，會(huì)影響樣品檢測(cè)的結(jié)果。而飛納掃描電鏡則可以直接觀察不導(dǎo)電的樣品或者動(dòng)植物樣品，這擴(kuò)展了掃描電鏡的應(yīng)用范圍，減低了人力物力，并且可以提高檢測(cè)精度。
很多樣品內(nèi)部不是致密結(jié)構(gòu)，如水泥、多孔陶瓷、粉末冶金制品等，在使用傳統(tǒng)顯微鏡時(shí)，樣品室在抽真空時(shí)會(huì)比較困難，即使達(dá)到真空要求也需要較長(zhǎng)的時(shí)間，對(duì)于強(qiáng)度弱的樣品甚至?xí)茐臉悠?對(duì)掃描電鏡的使用壽命也會(huì)受到影晌。低真空掃描電子顯微鏡則不存在這些問題。
傳統(tǒng)高真空掃描電鏡在對(duì)不導(dǎo)電樣品進(jìn)行成分分析時(shí)，可以通過(guò)噴金鍍膜處理，但噴金處理會(huì)在樣品表面增加一層金屬膜，對(duì)其成分分析會(huì)造成影響。不導(dǎo)電樣品不進(jìn)行鍍膜處理，可以選擇較低的電壓對(duì)樣品進(jìn)行觀察，但是不能進(jìn)行成分分析。低真空掃描電鏡則可以直接對(duì)不導(dǎo)電樣品進(jìn)行觀測(cè)的同時(shí)直接檢測(cè)樣品的化學(xué)成分。
